臭氧对各种微生物的杀灭效果是不一样的，臭氧对人和动物的致病菌、病毒具有很强的灭活作用。实验表明，4mg/L浓度的臭氧水对金黄色葡萄球菌、枯草杆菌、大肠杆菌、乙肝表面抗原、沙门氏菌、撇状弧菌、霉菌等作用5分钟，杀灭率为100%。杆菌孢子对高温有较强的抵抗力。例枯草杆菌的孢子，在100℃加热60分钟，仍能保持活力，而在4mg/L浓度臭氧水中暴露10~15分钟，便可完全杀灭。乳酸菌对臭氧的抵抗力极其微弱，在水中15秒钟即可杀死。臭氧对酵母菌的杀灭效果，视菌种不同而异，一般来说，在水中用4ppm的臭氧处理2~3分钟，杀灭率达100%，百丰科技进行了"臭氧对霉菌孢子的抑制杀灭作用"的研究，结论是未萌动的孢子在臭氧浓度12ppm下，3小时即可完全杀死。所以利用臭氧水定时的对在线水产品、辅料、操作台、加工机械和包装机械的表面进行消毒，便可做到全线卫生控制的效果。

采用臭氧水在线灭菌的优点是：

①臭氧的最终分解物是氧，因此无公害；

②食品上不会有残留物，对食品没有影响；

③运行成本低；

利用臭氧水对工作服消毒进行浸泡清洗是一种高效、经济又简便的方法，利用4mg/L臭氧浓度的臭氧水，即可取得满意的消毒效果，如果把工作服挂在利用臭氧进行空间消毒的车间也可达到这一目的。